- Description L'équipement de dépôt chimique en phase vapeur par plasma micro-ondes HMPS-2060SP de 6 kW (MPCVD) est conçu pour un usage polyvalent avec un plasma micro-ondes à haute stabilité et moyenne pression de processus en fonction des exigences spécifiques des utilisations. Le système est construit avec des performances avancées, une fonction parfaite, une structure raisonnable, une facilité d'utilisation, une sécurité et une fiabilité et une grande apparence, avec toutes les caractéristiques, il est particulièrement adapté à l'application de la progression CVD du film de diamant monocristallin et polycristallin. Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de film de diamant polycristallin, traitement de surface et modification des matériaux, ainsi que croissance d'oxydes à basse température.
- Composition de l'équipement et principales caractéristiques: 2.1. Générateur de puissance à micro-ondes Le système utilise un nouveau générateur de puissance à micro-ondes à semi-conducteurs de 6 kW / 2450 MHz. La puissance des micro-ondes est réglable en continu de 0,1 à 6 kW; la stabilité est meilleure que ± 1%; l'ondulation est meilleure que 1% et il a de bonnes performances de contrôle; le PLC fournit un contrôle pratique; le système de contrôle de blocage de sécurité de ligne parfait est adopté pour que le système ait une longue durée de vie. Il a d'excellentes performances électriques, un fonctionnement sûr et fiable, simple et pratique.
2.2. Unité de transmission de guide d'ondes Le système utilise un excellent système de transmission de micro-ondes composé d'un circulateur micro-ondes haute performance, d'un tuner à trois stub, d'une charge d'eau avec échantillonnage d'ondes réfléchies et d'un guide d'ondes connecté à la section de guide d'ondes. Il assure la bonne isolation de l'onde réfléchie de la source d'alimentation à semi-conducteurs pour la faire fonctionner de manière stable. Peut facilement ajuster la meilleure correspondance lorsque la charge de plasma change, pour obtenir la meilleure transmission de la puissance micro-ondes. Et grâce à l'échantillonnage des ondes réfléchies, la puissance réfléchie et l'état de fonctionnement en temps réel sont affichés sous forme numérique.
2.3. Transformation de mode et pari Cavité de couplage hyperfréquence Il s'agit de notre nouvelle génération de cavité de conversion et de couplage de mode hyperfréquence relativement mature, qui est composée d'une cavité cylindrique fonctionnant en mode TM, d'un coupleur de guide d'ondes coaxial de type porte avec sonde de couplage coaxial réglable et d'une plaque fenêtre de quartz. En ajustant le piston de court-circuit du guide d'ondes et de la sonde de couplage coaxial, la puissance micro-ondes peut être couplée efficacement à la chambre de décharge de plasma dans une large plage de fonctionnement, et à haute densité, haute ionisation, grande zone de décharge micro-ondes uniforme et stable peuvent être générés. Il adopte une paroi de cavité refroidie à l'eau à double couche pour assurer un fonctionnement stable.
